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                  全新 BROOKS 簡(jiǎn)化流量控制儀器 SLA5850

                  簡(jiǎn)要描述:全新 BROOKS 簡(jiǎn)化流量控制儀器 SLA5850
                  長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性:0.2%滿量程/年或更小
                  高精準(zhǔn)度
                  額定流量范圍廣 - 0.003 至 2500 slpm
                  高壓額定值 - 高達(dá) 1500 psi/100 bar(可選:4500 psi/310 bar)
                  可配置的多氣體/多范圍功能

                  • 產(chǎn)品型號(hào):SLA-5850
                  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
                  • 更新時(shí)間:2025-11-14
                  • 訪  問  量:488
                  詳情介紹

                  全新 BROOKS 簡(jiǎn)化流量控制儀器 SLA5850 

                  全新 BROOKS 簡(jiǎn)化流量控制儀器 SLA5850 

                  長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性:0.2%滿量程/年或更小

                  高精準(zhǔn)度

                  額定流量范圍廣 - 0.003 至 2500 slpm

                  高壓額定值 - 高達(dá) 1500 psi/100 bar(可選:4500 psi/310 bar)

                  可配置的多氣體/多范圍功能

                  易于訪問的獨(dú)立診斷/服務(wù)端口

                  廣泛的通信選項(xiàng),包括 DeviceNet®、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485、模擬接口

                  模塊化設(shè)計(jì),方便工廠或現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)

                  傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性消除了維護(hù)或定期重新校準(zhǔn)的需要,從而降低了總擁有成本

                  Brooks Instrument 專有的熱傳感器技術(shù)可提高信噪比并提高低設(shè)定點(diǎn)下的流量精度

                  通過一個(gè)設(shè)備平臺(tái)兼容各種氣體范圍/流量范圍

                  最多可以編程和保存 6 種校準(zhǔn)類型。通過一臺(tái)設(shè)備即可在不同氣體和范圍之間切換,從而減少庫存

                  用戶可以輕松訪問服務(wù)端口,并簡(jiǎn)化安裝、故障排除和診斷任務(wù),而無需中斷流量控制器操作

                  耐用的金屬頂蓋可防止安裝過程中損壞

                  多協(xié)議通信接口簡(jiǎn)化了與現(xiàn)有系統(tǒng)的集成

                  通過基于全球標(biāo)準(zhǔn)的高性能測(cè)量和校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)高精度

                  化學(xué)和石化催化劑研究和中試工藝

                  實(shí)驗(yàn)室和分析系統(tǒng)

                  燃料電池技術(shù)

                  生命科學(xué)生物反應(yīng)器

                  流量范圍(滿量程容量)
                  .003 - 2500 英里/分鐘
                  準(zhǔn)確性

                  17025 認(rèn)證設(shè)備(包括線性度,不包括校準(zhǔn)系統(tǒng)測(cè)量不確定度,根據(jù) SEMI E69)

                  ±0.6% SP (20-100% FS)

                  ±0.12% 滿量程 (<20% 滿量程)

                  1100 slpm 至 2500 slpm:±0.6% FS


                  標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備(包括參考標(biāo)準(zhǔn)的不確定性

                  ±0.9% SP (20-100% FS)

                  ±0.18% 滿量程 (2-20% 滿量程)

                  1100 slpm 至 2500 slpm:滿量程的 ±1.0%

                  再現(xiàn)性

                  0.20% SP

                  線性度

                  包含在準(zhǔn)確度中

                  響應(yīng)時(shí)間

                  0.003 - 100 slpm:<1 秒

                  100 - 2500 slpm:<3 秒

                  多氣體多范圍

                  標(biāo)準(zhǔn)

                  最大壓力

                  .003-200 slpm:1500 psi/103 巴

                  100 - 2500 slpm:1000 psi/70 巴

                  最大 50 slpm 設(shè)備上可選 4500 psi/310 bar

                  控制范圍

                  1-50 slpm:FS 調(diào)節(jié)比為 100:1

                  50-2500 lpm:FS 調(diào)節(jié)比為 50:1

                  零穩(wěn)定性

                  每年 < 0.2%FS

                  溫度系數(shù)

                  零:每o C < FS 的 0.05%

                  量程:每o C < SP 的 0.1%

                  壓力系數(shù)

                  0.03% 每 psi (0-200 psi N2 )

                  態(tài)度敏感性

                  重新調(diào)零后與規(guī)定精度的最大偏差<0.2% FS




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